一直以來(lái)，小微氣體、液體的流量精確測(cè)量和控制被西方發(fā)達(dá)國(guó)家技術(shù)壟斷，這項(xiàng)技術(shù)在眾多制造領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計(jì)的研發(fā)和誕生，正是由公司博士、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng)業(yè)骨干，聯(lián)合國(guó)內(nèi)頂尖學(xué)府的專(zhuān)家學(xué)者等共同組成的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，面對(duì)國(guó)外技術(shù)，自2011年以來(lái)恪守流體測(cè)控領(lǐng)域，自主創(chuàng)新，不懈努力的結(jié)晶。
苦心孤詣：七年研發(fā)，挑戰(zhàn)世界水平
2011年，這個(gè)以“80后”為主力軍的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開(kāi)始向技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn)，當(dāng)時(shí)國(guó)外進(jìn)口的設(shè)備獨(dú)步天下，相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達(dá)國(guó)家所壟斷，國(guó)內(nèi)只有個(gè)別廠商可以生產(chǎn)一些模擬型產(chǎn)品，精度低，重復(fù)性差，根本談不上高精尖，只能配套于低端產(chǎn)業(yè)，由于缺乏核心傳感器技術(shù)，即便拆開(kāi)了國(guó)外的設(shè)備，也會(huì)因不懂原理而難以突破。無(wú)數(shù)事實(shí)已表明：試圖通過(guò)仿制產(chǎn)品的路線是走不通的。從研發(fā)一開(kāi)始，易度團(tuán)隊(duì)就清醒地認(rèn)識(shí)到，精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品，只有通過(guò)自主創(chuàng)新，遵循“概念論證”——“關(guān)鍵技術(shù)驗(yàn)證”——“方案驗(yàn)證”——“原理樣機(jī)”——“工程樣機(jī)”——“產(chǎn)品樣機(jī)”——“產(chǎn)品”的技術(shù)路線，才能真正掌握技術(shù)，研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品。
這一技術(shù)路線耗時(shí)之長(zhǎng)、成本之高、風(fēng)險(xiǎn)之大，與當(dāng)下浮躁的社會(huì)顯得格格不入。他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活，有家人的不理解，也有周?chē)说某靶?。?dāng)時(shí)在微流量測(cè)量領(lǐng)域擺在研發(fā)團(tuán)隊(duì)面前的有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學(xué)原理為基礎(chǔ)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場(chǎng)，是技術(shù)的主流，技術(shù)成熟度較高，但國(guó)內(nèi)一直無(wú)法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎(chǔ)的層流質(zhì)量流量計(jì)，其 中核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝復(fù)雜，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計(jì)的國(guó)際頂級(jí)廠商也望而卻步。幾十年來(lái)，全球范圍內(nèi)取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國(guó)公司，但離實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應(yīng)用還有不小的距離。
最終，考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟，發(fā)展空間趨于飽和，在充分調(diào)研后，這群80后“初生牛犢”選擇了更加先進(jìn)，擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間，但技術(shù)門(mén)檻更高的層流質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)路線，開(kāi)始專(zhuān)注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器”的研發(fā)。
獨(dú)立自主：攻克核心
毫不夸張地說(shuō)，一個(gè)國(guó)家微流體測(cè)控水平的高低，決定著一個(gè)國(guó)家制造業(yè)水平的高低。小微流量測(cè)控領(lǐng)域通常測(cè)量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過(guò)9個(gè)數(shù)量級(jí)，這相當(dāng)于一秒內(nèi)流過(guò)流量計(jì)的體積從一滴水的三百分之一到一桶石油之間都能實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量，而完成每一次精確測(cè)量的時(shí)間要小于0.01s，并保證連續(xù)兩次測(cè)量的相對(duì)誤差小于千分之一，技術(shù)難度可想而知。
易度團(tuán)隊(duì)歷時(shí)七年苦心孤詣的研究，從2013年第一款層流傳感器原理驗(yàn)證機(jī)的誕生，到2014年第一代控制板原理驗(yàn)證機(jī)的研發(fā)，2015年底第一臺(tái)層流質(zhì)量流量計(jì)工程樣機(jī)的研發(fā)成功，一直到2017年6月，第一代層流質(zhì)量流量計(jì)的問(wèn)世，并順利通過(guò)了國(guó)家計(jì)量院的型式評(píng)價(jià)認(rèn)證。這其中沒(méi)有現(xiàn)成的經(jīng)驗(yàn)可以借鑒，所有的工作都要從零開(kāi)始，一遍一遍地設(shè)計(jì)，一次一次地試驗(yàn)，失敗了，重新開(kāi)始，重新改進(jìn)，研發(fā)過(guò)程是痛苦的，但值得驕傲的是，易度團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持了下來(lái)，啃下了一個(gè)個(gè)硬骨頭，并掌握了這項(xiàng)核心技術(shù)，成就了今天的產(chǎn)品。
目前該項(xiàng)技術(shù)已獲國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利(專(zhuān)利號(hào):ZL 2015 1 0610447.5和ZL 2015 1 0610446.0)兩項(xiàng)，同時(shí)在全球PCT檢索中具有新穎性。在國(guó)內(nèi)，也只有易度公司掌握了通用型層流測(cè)控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過(guò)國(guó)家最高機(jī)構(gòu)的驗(yàn)證，達(dá)到了世界頂尖水平。
永無(wú)止境：高效專(zhuān)注增添中國(guó)力量
易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器，不僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體和液體質(zhì)量流量的測(cè)量，還能達(dá)到精準(zhǔn)控制，是國(guó)內(nèi)一款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)次技術(shù)改進(jìn)，產(chǎn)品正在日趨成熟，實(shí)現(xiàn)了在-20℃到70℃環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級(jí)以?xún)?nèi)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時(shí)間達(dá)到0.01S。
聚焦用戶(hù)過(guò)程控制，半導(dǎo)體300多項(xiàng)關(guān)鍵工藝中，有光刻工藝、氣相沉積工藝、單晶生產(chǎn)工藝等超過(guò)70%的工藝項(xiàng)點(diǎn)都與微流量測(cè)量相關(guān)；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過(guò)程中，常用的方法增強(qiáng)等離子的化學(xué)氣相沉積，也需要精準(zhǔn)地配給氣體和液體；等離子體發(fā)動(dòng)機(jī)作為未來(lái)航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測(cè)試環(huán)節(jié)，需要精確測(cè)量小于1ml/min的稀有氣體的質(zhì)量流量，這是等離子體發(fā)動(dòng)機(jī)穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測(cè)試工藝。
近五年全球微流量測(cè)量領(lǐng)域業(yè)務(wù)每年以30%的速度迅猛增長(zhǎng)，隨著以芯片制造、生物醫(yī)藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興制造業(yè)的迅猛發(fā)展，更加精細(xì)化的制造工藝對(duì)微流量測(cè)量控制儀器提出了更加苛刻的要求，在當(dāng)前國(guó)家大力發(fā)展制造業(yè)的背景下，易度儀器有責(zé)任也有信心繼續(xù)精鉆技術(shù)，專(zhuān)注流體測(cè)控領(lǐng)域，解決微流量測(cè)控世界難題。
我公司自主研發(fā)的層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器系列產(chǎn)品，具有高精度、快響應(yīng)、線性好、零漂小等特點(diǎn)，屬于數(shù)字化產(chǎn)品，可與計(jì)算機(jī)相連，支持RS485數(shù)字信號(hào)，同時(shí)兼容4~20Ma,0~5V模擬信號(hào)輸出，配備彩色LCD顯示屏，多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等，內(nèi)置氣壓和溫度(密度)補(bǔ)償，可標(biāo)定內(nèi)置的多種氣體和液體，所有操作均可通過(guò)觸屏式操作實(shí)現(xiàn)，無(wú)需借助計(jì)算機(jī)或其他額外軟件，廣泛適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。
2024年，陜西易度智能科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“易度智能”）在質(zhì)量流量控制器（簡(jiǎn)稱(chēng)“MFC”）方面又一次取得重大突破，其獨(dú)立自主研發(fā)的質(zhì)量流量控制器系列產(chǎn)品，已順利通過(guò)歐洲CE（Conformité Européenne，歐洲合格評(píng)定）認(rèn)證。
這也是易度智能繼成功獲得中華人民共和國(guó)計(jì)量器具型式批準(zhǔn)證書(shū)（CPA認(rèn)證：國(guó)內(nèi)高認(rèn)證）之后，獲得的又一項(xiàng)國(guó)際認(rèn)證。國(guó)內(nèi)CPA認(rèn)證和國(guó)際CE認(rèn)證的雙重認(rèn)證，既標(biāo)志著易度智能產(chǎn)品品質(zhì)，也表明易度智能的產(chǎn)品，經(jīng)得起國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的各種嚴(yán)苛考驗(yàn)。
據(jù)悉，計(jì)量器具型式批準(zhǔn)證書(shū)（簡(jiǎn)稱(chēng)型式批準(zhǔn)證書(shū)）是由國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督部門(mén)（或市場(chǎng)監(jiān)督管理部門(mén)）頒發(fā)，具有高的公信力的行政許可證明。CPA標(biāo)志是計(jì)量器具型式批準(zhǔn)證書(shū)的專(zhuān)用標(biāo)志，該證書(shū)是對(duì)企業(yè)生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量的認(rèn)可，是計(jì)量器具質(zhì)量和性能穩(wěn)定的重要保證。
CE認(rèn)證，全稱(chēng)“Conformité Européenne”，意為“歐洲合規(guī)性”，是歐盟采取的一項(xiàng)重要舉措，旨在加強(qiáng)監(jiān)管、保護(hù)消費(fèi)者安全、環(huán)境與健康。CE認(rèn)證標(biāo)志著產(chǎn)品符合歐盟的安全、健康和環(huán)境保護(hù)要求，并獲得了相應(yīng)的認(rèn)可。CE認(rèn)證在國(guó)際上具有非常高的認(rèn)可度，展現(xiàn)出更高的品質(zhì)和合規(guī)性。
易度團(tuán)隊(duì)從2011年開(kāi)始層流壓差技術(shù)的研發(fā)，十余年來(lái)，專(zhuān)注于研發(fā)高精度層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器等產(chǎn)品，是國(guó)內(nèi)通過(guò)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院認(rèn)證的層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器制造商，也是第二家有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計(jì)的高新技術(shù)企業(yè)。
為什么要發(fā)展層流壓差式MFC？
在科技日新月異的今天，中國(guó)制造業(yè)正崛起，特別是在精密儀器與控制技術(shù)領(lǐng)域，但目前，在MFC領(lǐng)域，仍然被HORIBA、Brooks、Bronkhorst、MKS等國(guó)外廠商占據(jù)主導(dǎo)地位，而這些企業(yè)大多以熱式原理的MFC進(jìn)入市場(chǎng)，熱式原理采用半經(jīng)驗(yàn)公式，是通過(guò)上億次的實(shí)驗(yàn)值作為參考得出的，想要精度更高，只有更多的實(shí)驗(yàn)積累才能提高精度。國(guó)外熱式品牌精度比國(guó)內(nèi)品牌好就在于公司成立時(shí)間早，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累更多。熱式經(jīng)過(guò)這么多年的發(fā)展已經(jīng)接近工程技術(shù)的極限，很難有上升空間。
國(guó)內(nèi)企業(yè)想要打破國(guó)際壟斷，除了追趕原有廠商的技術(shù)水平之外，更需要以創(chuàng)新能力和堅(jiān)實(shí)的產(chǎn)品質(zhì)量來(lái)逐步打破僵局。而層流壓差原理將逐漸成為未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)，層流壓差原理通過(guò)壓差來(lái)測(cè)量流量，壓差與流量成正比。影響精度的因素就在于傳感器的分辨率與準(zhǔn)確性?，F(xiàn)在傳感器的分辨率和準(zhǔn)確性越來(lái)越好，層流壓差原理的精度會(huì)更高，上升空間很大。
層流壓差式MFC通過(guò)層流元件將氣體流動(dòng)狀態(tài)規(guī)整為規(guī)則的層流，并利用壓差傳感器測(cè)量層流元件兩端的壓力差來(lái)計(jì)算氣體流量。這種方法具有較高的測(cè)量精度，能夠滿(mǎn)足半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥等高精度工藝對(duì)氣體流量的精確控制需求。且層流壓差式MFC能夠測(cè)量從微小流量到大流量的氣體，具有較寬的測(cè)量范圍，適用于多種應(yīng)用場(chǎng)景。同時(shí)，相比熱式MFC，無(wú)旁通毛細(xì)管，流道口徑大，不易堵塞，抗污染能力強(qiáng)。層流壓差式流量控制器因其高精度、寬量程范圍、高重復(fù)性、快速響應(yīng)、耐腐蝕耐高壓等優(yōu)勢(shì)，具備非常廣闊的市場(chǎng)價(jià)值和戰(zhàn)略意義。
因此，在國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略的今天，尤其是中美貿(mào)易戰(zhàn)不斷加劇的背景下，國(guó)產(chǎn)企業(yè)亟需加快技術(shù)自主可控的步伐。而推動(dòng)國(guó)產(chǎn)層流壓差式MFC的發(fā)展，不僅有助于技術(shù)自主可控和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，還能保障信息安全、提升經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益，以及增強(qiáng)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。
易度智能實(shí)力如何？
易度智能自創(chuàng)立之初便秉承著“儀器的一小步，文明的一大步”的創(chuàng)業(yè)初心，致力于層流壓差式技術(shù)的研發(fā)，核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)以西北工業(yè)大學(xué)數(shù)名博士后、博士、碩士生為核心，依靠研發(fā)團(tuán)隊(duì)航空字航專(zhuān)業(yè)背景，以流體力學(xué)、材料學(xué)、嵌入式硬軟件開(kāi)發(fā)等專(zhuān)業(yè)為基礎(chǔ)，自主研發(fā)十余年，在層流壓差式原理尤其是微流量測(cè)控領(lǐng)域擁有深厚技術(shù)積累，目前已取得20余項(xiàng)創(chuàng)新型專(zhuān)利技術(shù)，幾十項(xiàng)國(guó)內(nèi)外認(rèn)證。多年來(lái)，公司堅(jiān)持科學(xué)的研發(fā)規(guī)律，從一條公式開(kāi)始，逐步研發(fā)出高性能產(chǎn)品。并取得了國(guó)內(nèi)最高的技術(shù)認(rèn)證（CPA），也是國(guó)內(nèi)首家層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器制造商。
國(guó)內(nèi)CPA認(rèn)證和此次國(guó)際CE認(rèn)證的雙重認(rèn)證，正是對(duì)易度智能技術(shù)性的高度認(rèn)可，也是對(duì)公司持續(xù)創(chuàng)新能力與產(chǎn)品品質(zhì)的最好證明。尤為值得一提的是，在嚴(yán)格的認(rèn)證試驗(yàn)過(guò)程中，易度智能的MFC產(chǎn)品表現(xiàn)出色，不僅一次性通過(guò)所有測(cè)試環(huán)節(jié)，更在電磁兼容性（EMC）測(cè)試中展現(xiàn)出了驚人的穩(wěn)定性。要知道，電磁兼容性測(cè)試是模擬復(fù)雜電磁環(huán)境下產(chǎn)品的表現(xiàn)，其中電擊試驗(yàn)更是對(duì)設(shè)備耐受條件能力的極限挑戰(zhàn)。然而，易度智能的MFC產(chǎn)品卻能在這樣的條件下依然保持性能穩(wěn)定，未受絲毫損壞，這充分證明了其產(chǎn)品設(shè)計(jì)的嚴(yán)謹(jǐn)性、材料選用的優(yōu)質(zhì)性以及生產(chǎn)工藝的，也真正驗(yàn)證了客戶(hù)口中易度產(chǎn)品“皮實(shí)可靠”的承諾。
易度EC系列明星產(chǎn)品陸續(xù)上市
易度智能質(zhì)量流量控制器EC系列產(chǎn)品，作為公司自主研發(fā)的明星產(chǎn)品，集成了高精度傳感技術(shù)、智能算法控制及人性化交互設(shè)計(jì)于一體，具備高穩(wěn)定性、高可靠性、高重復(fù)性以及具性?xún)r(jià)比的特點(diǎn)。該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)流體質(zhì)量流量的精確測(cè)量與控制，廣泛應(yīng)用于環(huán)保、半導(dǎo)體、化工、氫能、光伏、真空鍍膜、制藥、食品等多個(gè)行業(yè)，為生產(chǎn)過(guò)程的精準(zhǔn)控制和效率提升提供了有力保障。作為易度新品，剛上市便獲得CE認(rèn)證，接下來(lái)，易度將繼續(xù)發(fā)布EC系列其他型號(hào)產(chǎn)品，繼續(xù)以技術(shù)實(shí)力和堅(jiān)實(shí)的產(chǎn)品質(zhì)量回饋客戶(hù)，并以此為新的起點(diǎn)，繼續(xù)前行在MFC領(lǐng)域，為全球客戶(hù)提供更加精準(zhǔn)、可靠的智能控制解決方案，為中國(guó)制造業(yè)的崛起貢獻(xiàn)一份綿薄之力。
未來(lái)，我們有理由相信，易度智能將繼續(xù)秉持初心，砥礪前行，在MFC領(lǐng)域創(chuàng)造更多輝煌，為中國(guó)制造贏得更多國(guó)際贊譽(yù)。
